“第一个,需要高精度的光刻机。现在你们这两台,是没有办法。但是他们上不了生产线。要新型号的,精度至少要达到1🗢🝔0微米级别。”
当前在国际上的主流光刻机的精度,🕎🈛⚩已经达到了05μ(纳米)。
led用不到这么高的精度,后世最高的led🀡光刻机的精度,也才800nd光刻机,只要精度在10μd产业链里,单独提高光刻机精度未必有用,因为后续的工艺环节,精度上不来。继续提高精度,就已经超出📩🝣了人可以操作的范围。
从资料上看,这个时代的国产光刻机,已经可以达🆉🍮到2~3μd光刻机,是富富有余。
但是,这话,要看跟谁讲。👅🆝🐢科仪的这种实验🈔♮室用光刻机,其精度嘛,🆑🎳🕋成永兴居然不知道该用什么词来形容,也许是1?
“第二个呢?”
“第二个,我需要定制一台大光刻机。”
向下一个技术🐁节点冲锋的条件已经🖸🗘具备,可以先🀡期着手做些准备工作了。
“大光刻机?多大算大?”
刘民学听说过光刻机的指标,都是以精度为单位,例如毫米,微米,纳米但首次听说有用《📁🗷☫大》这个定语的。
————————
“12英寸!可以光刻12英寸的光刻机。”🃑
“12英寸?🐁小成,你不是开玩笑吧!现在最大🀡的晶圆片,才多🆉🍬大啊!”
世面上🚗📠主流的🐁晶圆片,都是6英寸以下的。8英寸也才刚刚被研发出来。12英寸,按理应该出现在2000年,也就是10年之后!
“你别管我要刻什么!我就要刻🌩🁬这么大的东西。是不是晶圆,就不干你事了。像这次的蓝光,基🞭🗜底材料🍹是蓝宝石,而不是硅晶圆,一个道理。”